按流體對(duì)檢測(cè)元件熱源的熱量作用可分為熱量傳遞轉(zhuǎn)移效應(yīng)和熱量消散效應(yīng)或冷卻效應(yīng)。

 

按檢測(cè)變量可分為溫度測(cè)量法和功率消耗測(cè)量法。

 

按流量傳感器結(jié)構(gòu)可分為(有測(cè)量管的)接入管道式和插入式。

 

按測(cè)量流體可分為氣體和液體用。

 

氣體是當(dāng)前tmf主要應(yīng)用的流體，從微小流量到大管徑大流量都可使用。

液體用tmf 在20世紀(jì)90年代初中期開始發(fā)展并在工業(yè)生產(chǎn)中應(yīng)用，但當(dāng)前主要為微小流量?jī)x表。有消耗功率測(cè)量法的熱分布式tmf和利用珀?duì)柼? peltier)致冷元件在檢測(cè)部位致冷(即附加熱)的tmf。后者的測(cè)量原理如圖6所示，流量傳感器由測(cè)量毛細(xì)管、電子冷卻裝置(珀?duì)柼?和3各溫度檢出件組成。測(cè)量管和致冷元件接觸，無液體流動(dòng)時(shí)冷卻到某一溫度時(shí)，兩者溫度相等;液體流動(dòng)時(shí)致冷元件附近測(cè)量毛細(xì)管溫度上升，如虛線所示分布，測(cè)量溫度檢測(cè)點(diǎn)的兩者溫度差以求的流量。